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Home > 제품정보 > 우시오의 광 가열 할로겐 램프 히터

할로겐 램프 히터에 의한 「비접촉, 고속 온도 조절」은 소성로、CVD 등의 열 처리 장치의 표준 열원으로서 탑재되고 있습니다.

主な試料

단결정 실리콘, 다결정 실리콘, 어모퍼스 실리콘, 글라스, 필름

100℃의 저온 영역에서 1200℃의 고온 영역까지 폭넓은 고온 영역에 대응할 수 있습니다. 각 열 처리 프로세스의 표준 열원으로서 폭 넓게 채용되고 있 습니다.

主な試料

실리콘, SiC, SOI, 화합물, 물, 약액

「고속 온도 조절과 비접촉 가열」이 가능하며 더욱이 기판 대형화에 대응하기 때문에 최장 2.5M까지 연장이 가능합니다.

主な試料

글라스, 컬러 필터

금속재의 압연, 물ㆍ용제 건조 공정 등의 열 처리에서 종전의 핫 에어, 고주파 가열, 가스로 등을 대체하는 친환경 가열원으로서 사용할 수 있습니다.

主な試料

SUS, 알루미늄, 철, 동, 마그네슘

프리폼과 같은 투과성 있는 재료를 가열할 경우에는 할로겐 램프 히터에 의한 앞 뒤 균일한 광 가열이 유효합니다.

主な試料

PET병, 프리폼, PC, 에폭시, PPT

우시오는 빛의 「열원」으로서의 가능성에 일찍이 주목해 신소재ㆍ우주 개발 등 의 최첨단 과학 분야에도 폭넓게 「광 가열」을 제안하고 있습니다.

主な試料

문의

　TEL: 02-587-1115 / FAX: 02-587-1118

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