1996년

한국우시오(주) 설립

1997년

반도체 P/R(Photoresist)경화장치「Uni Hard」판매개시

1998년

반도체 제조 전문전시회「Semicon Korea」첫출전

1999년

액정Panel 광 세정장치「Excimer VUV/O₃Cleaner」가 대기업 액정 제조업체에 채용

(Excimer 빛에 의한 세정Process확립) 본격적 판매 개시

2001년

액정Business 본격화

- 노광용 초고압UV LAMP(SH LAMP)

- 광 세정장치·액정Panel

- 합체용 UV조사장치

2002년

반도체 노광용 Excimer Laser Service부문 설립

(GIGAPHOTON과 공동으로 Customer Service체제 확립)

2003년

반도체 노광용 Excimer Laser(GIGAPHOTON제품) 판매 개시

2004년

「빛의 장치」에 대한 Maintenance체제 재구축(User로부터 신뢰 획득)

2005년

매출·이익 모두 과거 최고 경신

2006년

12월 12일 ISO 14001 환경경영 인증 획득