USHIO KOREA INC.


바이오ㆍMEMS관련 제조장치 등을 소개합니다.
바이오ㆍMEMS
	스프레이 코터 구형 스핀 코터로는 불가능했던 기판（3D구조）의 凹凸형상에 알맞은 리지스트 도포 가 가능합니다.	마이크로TAS접착장치 마이크로TAS의 기판이 되는 유리와 PDMS（실리콘 고무）를 접착제를 사용하지 않고 진공 자외광으로 접착시키는 장치입니다.
	MEMS용 노광장치 20mm～촤대 φ8인치 웨이퍼에 대응, 최소 5 마이크론 L/S 스펙을 지녀 배등 투영 노광 광학계를 탑재한 노광장치입니다.