전자회로기판의 제조 프로세스에서 활용되는 광제품을 소개합니다.

  전자회로 기판 제조 관련

리소그래피용 UV램프

자외선 파장 영역 중에서도 특히 436/405/365nm를 유효하게 활용할 수 있어 긴 수명의 안정된 방사 강도를 지닌 고휘도 램프입니다.

할로겐 히터

빛을 열료 이용하는 램프로서 유연성과 컨트롤 성능이 뛰어나 고효율ㆍ친환경ㆍ소형/경량 등, 다른 열원에는 없는 뛰어난 특징을 가지고 있습니다

엑시머램프/엑시머광조사유닛

파장180nm이하의 진공 자외광(VUV)을 효율적으로 방사합니다.

Spot UV조사장치 Spot Cure시리즈

UV램프 내장으로 사용이 간편한  Spot UV조사장치입니다. 라인이나 업무에 알맞은 렌즈나 유닛 등의 옵션도 풍부합니다.

플래시UV장치

자외영역에서 적외영역까지의 연속 발광으로, 발광 펄스는 수은램프의 50배 이상. 고피크 조도ㆍ저온처리ㆍ에너지 절약 등 진정한 신세대 UV장치입니다.

노광장치

투영노광방식（편면일괄노광ㆍ양면동시노광ㆍ스텝&리피트）, 프록시미티 노광방식 등 다양한 노광장치를 소개합니다.

외관검사장치

웨이퍼나 마스크의 외관 검사, 평면 프린트 기판 등의 회로검사, 유리면 검사를 하는 외관검사장치를 소개합니다.

광측정기기

광원 메이커로서 사용자의 입장에서 개발한 「정확하고 사용이 편리한」광량ㆍ조도의 측정기기를 소개합니다.