USHIO KOREA INC.

Xe가스를 봉입한 엑시머램프（유전체 배리어 방전 엑시머 램프）는 파장180nm이하의 VUV（진공 자외선）을 효율적으로 방사해 지금까지와는 다른 화학반응이나 빠른 반응속도를 실현하고 있습니다.

특징

- 단일파장, 저온처리

단일파장이므로 화학반응을 일으키는 자외선을 선택할 수 있어 대상물에 불필요한 반응이나 열을 가하지 않고 저온처리를 할 수 있습니다.

- 고효율

전력에서 빛으로의 에너지 변환 효율이 높아（172nm타입의 변환률10%） 낮은 전력으로도 커다란 에너지를 발생합니다.

- 순간 점등, 점등 점멸이 가능

필요한 때에만 필요한 양의 에너지를 조사할 수 있어 「셔터 불필요」「실험적인 긴 수명화」 등의 다양한 장점이 있습니다.

- 설치 방향이 자유자재

램프 점등 방향에 제한이 없어 라인에 맞춰 입면 조사도 가능합니다.

분광분포

반도체 프로세스용 유닛 예

액정 프로세스용 유닛 예

주요 용도

* FPD 제조 공정 중 기판의 불순물 세정

문의

　TEL : 02-587-1115 / FAX : 02-587-1118

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