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TABㆍCOF 외관자동검 사장치
마스크/펠리클 이물질 검사장치
옵티컬 Modulex
웨이퍼나 마스크의 외관검사, 평면 프린트 기판 등의 회로검사, 유리면 검사를 하는 외관검사장치를 소개합니다.
외관 검사장치
TABㆍCOF 외관자동검사장치
투과조명과 반사조명을 조합해 종전의 A.O.I.장치로는 무리였던 고정밀도의 검사를 실현하였습니다.
노광장치용 리티큐루 윗면 및 펠리클 밑면에 부착한 이물질을 단시간에 검사합니다.
글라스 검사장치 옵티컬 Modulex
규격화된 파트 유닛을 목적에 맞게 구성할 수 있는 조사 장치입니다.
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외관 검사장치
