USHIO KOREA INC.

logo_ushio.gif

 Home  /  Site Map  /  Contact Us  /  JAPAN  /  Global Home

 Home > Á¦Ç°Á¤º¸ > Á¦Ç° ¸®½ºÆ® °Ë»ö > ·¥ÇÁ¤ý±¤¿ø

Ãʰí¾ÐUV·¥ÇÁ

 °í¾ÐUV·¥ÇÁ

 Àú¾ÐUV·¥ÇÁ

 Deep UV·¥ÇÁ

 µ¥ÀÌÅÍ ÇÁ·ÎÁ§ÅÍ¿ë ·¥ÇÁ

 Å©¼¼³í ¼îÆ® ¾ÆÅ© ·¥ÇÁ

 Å©¼¼³í Ç÷¡½Ã ·¥ÇÁ

 ¹Ì·¯ ³»ÀåÇü Å©¼¼³í·¥ÇÁ

 ¿¢½Ã¸Ó ·¥ÇÁ/¿¢½Ã¸Ó ±¤   Á¶»ç À¯´Ö

 ¿ÜºÎ Àü±Ø Èñ¼Ò °¡½º Çü   ±¤ ·¥ÇÁ

 ±¤Çбâ±â¿ë Çҷΰշ¥ÇÁ

 ÇÒ·Î°Õ È÷ÅÍ

 ArF/KrF·¹ÀÌÀú

 EUV (±Ø´Ü Àڿܱ¤)

     ¿ì½Ã¿ÀÀÇ ·¥ÇÁ¤ý±¤¿ø Á¦Ç°À» 5 Ä«Å×°í¸® 15°³ Á¦Ç°À¸·Î ³ª´² ¼Ò°³ÇÕ´Ï´Ù.

  ¹æÀü·¥ÇÁ

Ãʰí¾ÐUV·¥ÇÁ

Àڿܼ± ÆÄÀå ¿µ¿ª Áß¿¡¼­µµ ƯÈ÷ 436£¯405£¯365nmÀ» À¯È¿ÇÏ°Ô È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ±ä ¼ö¸íÀÇ ¾ÈÁ¤µÈ ¹æ»ç °­µµ¸¦ Áö´Ñ °íÈÖµµ ·¥ÇÁÀÔ´Ï´Ù.

 

°í¾ÐUV·¥ÇÁ

Àڿܼ± ¿µ¿ª¿¡¼­ Æø³ÐÀº ¼± ½ºÆåÆ®·³À» Áö³à UV°æÈ­³ª °ÇÁ¶ µî ´Ù¾çÇÑ ±¤È­ÇÐ ¹ÝÀÀºÐ¾ß¿¡¼­ Ȱ¿ëµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

Àú¾ÐUV·¥ÇÁ

185nm¿Í 254nmÀ» °­·ÂÇÏ°Ô ¹æ»çÇÏ´Â ¼± ½ºÆåÆ®·³ ±¤¿øÀÔ´Ï´Ù. UVÁ¶»ç¸¦ ÅëÇØ ¹ß»ýÇÏ´Â ¿ÀÁ¸°ú º´¿ëÇØ »êÈ­¹ÝÀÀÀÇ ÃËÁø µî¿¡ Ȱ¿ëµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

 

Deep UV·¥ÇÁ

Å©¼¼³í ·¥ÇÁÀÇ Æø³ÐÀº ½ºÆåÆ®·³°ú Ãʰí¾Ð UV·¥ÇÁÀÇ ³ôÀº ¿¡³ÊÁö¸¦ Áö´Ñ ·¥ÇÁÀÔ´Ï´Ù.

µ¥ÀÌÅÍ ÇÁ·ÎÁ§ÅÍ¿ë ·¥ÇÁ

Ãʰí¾Ð UV·¥ÇÁ¸¦ ±âÃÊ·Î °³¹ßµÈ ÇÁ·ÎÁ§ÅÍ¿ë ·¥ÇÁÀÔ´Ï´Ù. ¼ÒÇü, °íÈÖµµ, Çø®Ä¿¸®½º, ³ôÀº ½Å·Ú¼ºÀ» ½ÇÇöÇÏ¿´½À´Ï´Ù.

 

Å©¼¼³í ¼îÆ® ¾ÆÅ© ·¥ÇÁ

Å©¼¼³í °¡½º¸¦ ºÀÀÔÇÑ °íÈÖµµ¤ýÁ¡±¤¿ø ·¥ÇÁÀÔ´Ï´Ù. Àΰø±¤¿ø Áß¿¡¼­ °¡Àå ž籤¿¡ °¡±î¿î ½ºÆåÆ®·³À» Áö³à ¿¬»ö¼ºÀÌ ¶Ù¾î³³´Ï´Ù.

Å©¼¼³í Ç÷¡½Ã ·¥ÇÁ

Å©¼¼³í °¡½º¸¦ ºÀÀÔÇØ ¼ø°£ÀûÀ¸·Î ´ë±¤·®¤ý°í±¤¼ÓÀ» ¾òÀ» ¼ö ÀÖ¾î ¹Ýº¹ ¹ß±¤ÀÌ °¡´ÉÇÑ ·¥ÇÁÀÔ´Ï´Ù. È­»ó󸮳ª ±¤¹ÝÀÀ µî Æø³Ð°Ô Ȱ¿ëµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

 

¹Ì·¯ ³»ÀåÇü Å©¼¼³í·¥ÇÁ

Å©¼¼³í ·¥ÇÁÀÇ Æ¯Â¡ÀÎ °í¿¬»ö¼º ºûÀ» ÃßÃâÇϱâ À§ÇØ ¹Ý»ç°æ ÀÏüÇüÀÇ ÄÞÆÑÆ®ÇÑ Çü»óÀ» ÇÑ ±¤¿øÀÔ´Ï´Ù.

¿¢½Ã¸Ó ·¥ÇÁ

ÆÄÀå 180nm ÀÌÇÏÀÇ Áø°ø Àڿܱ¤ (VUV)À» È¿À²ÀûÀ¸·Î ¹æ»çÇÕ´Ï´Ù.

 

¿ÜºÎ Àü±Ø Èñ¼Ò °¡½º Çü±¤ ·¥ÇÁ

Èñ¼Ò°¡½º£¨Xe£©¸¦ ºÀÀÔÇÑ ¼öÀºÀÌ ¾ø´Â ģȯ°æ ·¥ÇÁ·Î¼­ CCD½ºÄ³´× µîÀÇ ¿ø°í¿ëµî¿¡ Ȱ¿ëµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

  ÇÒ·Î°Õ ·¥ÇÁ

±¤Çбâ±â¿ë Çҷΰշ¥ÇÁ

°¡½Ã¿ª¿¡¼­ Àû¿Ü±îÁöÀÇ Æø³ÐÀº ¿¬¼Ó ÆÄÀåÀº Ư¼ö Á¶¸íÀ̳ª ºÐ¼®¤ý°èÃø, ±¤Ä¡·áµî ´Ù¾çÇÑ ¿ëµµ·Î Ȱ¿ëµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

 

ÇÒ·Î°Õ È÷ÅÍ

ºûÀ» ¿­·Î ÀÌ¿ëÇÏ´Â ·¥ÇÁ·Î¼­ À¯¿¬¼º°ú ÄÁÆ®·Ñ ¼º´ÉÀÌ ¶Ù¾î³ª °íÈ¿À²¤ýģȯ°æ¤ý¼ÒÇü/°æ·® µî ´Ù¸¥ Àü¿ø¿¡´Â ¾ø´Â ¿ì¼öÇÑ Æ¯Â¡À» Áö´Ï°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

  ·¹ÀÌÀú

ArF/KrF·¹ÀÌÀú

Àü ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ ¸ÞÀÌÄ¿ÀÇ »ý»ê ÇöÀåÀ» Áú°ú ¾ç ¾ç¸é¿¡¼­ ÁöÁöÇϰí ÀÖ´Â ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ¿ë ¿¢½Ã¸Ó ·¹ÀÌÀúÀÔ´Ï´Ù.

 

 

 

  EUV (±Ø´Ü Àڿܱ¤)

EUV (±Ø´Ü Àڿܱ¤£©

ÆÄÀå 13nmÀÇ ±Ø´Ü Àڿܼ±À» ¹æ»çÇÏ´Â ±¤¿øÀÔ´Ï´Ù. KrF/ArF·¹ÀÌÀú¸¦ ÀÕ´Â ¹ÝµµÃ¼ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ¿ë ±¤¿øÀ¸·Î¼­ °³¹ßÀ» ÁøÇàÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù.

 

 

 

   ¡ãTop

USHIO KOREA INC.