|

|
|
¿ì½Ã¿ÀÀÇ
·¥ÇÁ¤ý±¤¿ø Á¦Ç°À» 5 Ä«Å×°í¸® 15°³ Á¦Ç°À¸·Î ³ª´² ¼Ò°³ÇÕ´Ï´Ù.
|
|
¹æÀü·¥ÇÁ
|
|
|
Ãʰí¾ÐUV·¥ÇÁ
Àڿܼ±
ÆÄÀå ¿µ¿ª Áß¿¡¼µµ ƯÈ÷ 436£¯405£¯365nmÀ» À¯È¿ÇϰÔ
Ȱ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ±ä ¼ö¸íÀÇ ¾ÈÁ¤µÈ ¹æ»ç °µµ¸¦ Áö´Ñ
°íÈÖµµ ·¥ÇÁÀÔ´Ï´Ù.
|
|
|
°í¾ÐUV·¥ÇÁ
Àڿܼ±
¿µ¿ª¿¡¼ Æø³ÐÀº ¼± ½ºÆåÆ®·³À» Áö³à UV°æÈ³ª °ÇÁ¶
µî ´Ù¾çÇÑ ±¤ÈÇÐ ¹ÝÀÀºÐ¾ß¿¡¼ Ȱ¿ëµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
|
|
Àú¾ÐUV·¥ÇÁ
185nm¿Í
254nmÀ» °·ÂÇÏ°Ô ¹æ»çÇÏ´Â ¼± ½ºÆåÆ®·³ ±¤¿øÀÔ´Ï´Ù.
UVÁ¶»ç¸¦ ÅëÇØ ¹ß»ýÇÏ´Â ¿ÀÁ¸°ú º´¿ëÇØ »êȹÝÀÀÀÇ
ÃËÁø µî¿¡ Ȱ¿ëµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
|
|
Deep
UV·¥ÇÁ
Å©¼¼³í
·¥ÇÁÀÇ Æø³ÐÀº ½ºÆåÆ®·³°ú Ãʰí¾Ð UV·¥ÇÁÀÇ ³ôÀº ¿¡³ÊÁö¸¦
Áö´Ñ ·¥ÇÁÀÔ´Ï´Ù.
|
|
|
µ¥ÀÌÅÍ
ÇÁ·ÎÁ§ÅÍ¿ë ·¥ÇÁ
Ãʰí¾Ð
UV·¥ÇÁ¸¦ ±âÃÊ·Î °³¹ßµÈ ÇÁ·ÎÁ§ÅÍ¿ë ·¥ÇÁÀÔ´Ï´Ù. ¼ÒÇü,
°íÈÖµµ, Çø®Ä¿¸®½º, ³ôÀº ½Å·Ú¼ºÀ» ½ÇÇöÇÏ¿´½À´Ï´Ù.
|
|
|
Å©¼¼³í
¼îÆ® ¾ÆÅ© ·¥ÇÁ
Å©¼¼³í
°¡½º¸¦ ºÀÀÔÇÑ °íÈÖµµ¤ýÁ¡±¤¿ø ·¥ÇÁÀÔ´Ï´Ù. Àΰø±¤¿ø
Áß¿¡¼ °¡Àå ž籤¿¡ °¡±î¿î ½ºÆåÆ®·³À» Áö³à ¿¬»ö¼ºÀÌ
¶Ù¾î³³´Ï´Ù.
|
|
|
Å©¼¼³í
Ç÷¡½Ã ·¥ÇÁ
Å©¼¼³í
°¡½º¸¦ ºÀÀÔÇØ ¼ø°£ÀûÀ¸·Î ´ë±¤·®¤ý°í±¤¼ÓÀ» ¾òÀ» ¼ö
ÀÖ¾î ¹Ýº¹ ¹ß±¤ÀÌ °¡´ÉÇÑ ·¥ÇÁÀÔ´Ï´Ù. È»ó󸮳ª ±¤¹ÝÀÀ
µî Æø³Ð°Ô Ȱ¿ëµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
|
|
¹Ì·¯
³»ÀåÇü Å©¼¼³í·¥ÇÁ
Å©¼¼³í
·¥ÇÁÀÇ Æ¯Â¡ÀÎ °í¿¬»ö¼º ºûÀ» ÃßÃâÇϱâ À§ÇØ ¹Ý»ç°æ
ÀÏüÇüÀÇ ÄÞÆÑÆ®ÇÑ Çü»óÀ» ÇÑ ±¤¿øÀÔ´Ï´Ù.
|
|
|
¿¢½Ã¸Ó
·¥ÇÁ
ÆÄÀå
180nm ÀÌÇÏÀÇ Áø°ø Àڿܱ¤ (VUV)À» È¿À²ÀûÀ¸·Î ¹æ»çÇÕ´Ï´Ù.
|
|
|
¿ÜºÎ
Àü±Ø Èñ¼Ò °¡½º Çü±¤ ·¥ÇÁ
Èñ¼Ò°¡½º£¨Xe£©¸¦
ºÀÀÔÇÑ ¼öÀºÀÌ ¾ø´Â ģȯ°æ ·¥ÇÁ·Î¼ CCD½ºÄ³´× µîÀÇ
¿ø°í¿ëµî¿¡ Ȱ¿ëµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
|
ÇÒ·Î°Õ ·¥ÇÁ
|
|
|
±¤Çбâ±â¿ë
Çҷΰշ¥ÇÁ
°¡½Ã¿ª¿¡¼
Àû¿Ü±îÁöÀÇ Æø³ÐÀº ¿¬¼Ó ÆÄÀåÀº Ư¼ö Á¶¸íÀ̳ª ºÐ¼®¤ý°èÃø,
±¤Ä¡·áµî ´Ù¾çÇÑ ¿ëµµ·Î Ȱ¿ëµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
|
|
ÇҷΰÕ
È÷ÅÍ
ºûÀ»
¿·Î ÀÌ¿ëÇÏ´Â ·¥ÇÁ·Î¼ À¯¿¬¼º°ú ÄÁÆ®·Ñ ¼º´ÉÀÌ ¶Ù¾î³ª
°íÈ¿À²¤ýģȯ°æ¤ý¼ÒÇü/°æ·® µî ´Ù¸¥ Àü¿ø¿¡´Â ¾ø´Â
¿ì¼öÇÑ Æ¯Â¡À» Áö´Ï°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
|
·¹ÀÌÀú
|
|
|
ArF/KrF·¹ÀÌÀú
Àü
¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ ¸ÞÀÌÄ¿ÀÇ »ý»ê ÇöÀåÀ» Áú°ú ¾ç ¾ç¸é¿¡¼
ÁöÁöÇϰí ÀÖ´Â ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ¿ë ¿¢½Ã¸Ó ·¹ÀÌÀúÀÔ´Ï´Ù.
|
|
|
|
|
EUV (±Ø´Ü
Àڿܱ¤)
|
|
|
EUV
(±Ø´Ü Àڿܱ¤£©
ÆÄÀå
13nmÀÇ ±Ø´Ü Àڿܼ±À» ¹æ»çÇÏ´Â ±¤¿øÀÔ´Ï´Ù. KrF/ArF·¹ÀÌÀú¸¦
ÀÕ´Â ¹ÝµµÃ¼ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ¿ë ±¤¿øÀ¸·Î¼ °³¹ßÀ» ÁøÇàÇϰí
ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
|
|
|
|
¡ãTop
|