초고압 UV 램프

할로겐 히터

플래시 램프 어닐

엑시머 램프/엑시머 광   조사 유닛

ArF/KrF레이저

EUV（극단 자외광）

Spot UV 조사장치 Spot    Cure 시리즈

자외선 순간 건조장치   Unicure 시스템

플래시 UV장치

자외선 포토 리지스트   경화/차지 소거 장치 유   니 하드

웨이퍼 주변/스텝/전면   노광장치

노광장치

외관검사장치

광측정기기

수 밀리 초라는 단시간에 대광량의 펄스광을 방사합니다. 조사물 표면에서만 온도를 상승시키므로 서멀 버지트가 작은 처리가 가능합니다.

  특징

- 제로 확산 1/1000초 궁극의 순간 어닐 기술

45nm노드 이상의 디바이스 개발에 있어 익스텐션 활성화의 ｘ ｊ제어를 제로 확산으로 실현하고 있습니다.

- 펄스 폭 제어에 의한 처리 깊이 컨트롤

펄스 폭을 제어하여 다양한 깊이의 접합층 형성이 가능합니다.

- 전면일괄조사

웨이퍼 전면에 대한 일괄 조사가 가능해 높은 스루 풋을 실현하였습니다.

- 고효율／에너지 절약

플래시램프에서의 파장은 Si 흡수 특성에 일치하므로 효율적으로 승온이 가능합니다.

  주요 용도

  * 초슬림 접합형성

  * 실리사이드형성

  * 초슬림 산화막형성

  * 강한 유전체 커패시터막 생성 등

문의

　TEL : 02-587-1115 / FAX : 02-587-1118