진공 자외광에서 원적외선까지 폭넓은 라인업에서 최적의 「光」을 선택할 수 있습니다.

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  할로겐히터

[근적외～원적외영역] [선／면 광원]

할로겐 램프가 방사하는 근적외선에서 원적외선까지를 열원으로 이용합니다. 1000℃ 이상의 급속한 온도 조절도 가능합니다.

- OA기기용 상세 정보

- 기타 산업용ㆍ가열용 상세 정보 

  할로겐램프

[가시광～적외영역]

높은 연색성이 요구되는 인테리어 조명이나 상점 조명에 이용되는 외에도 영상기기나 광학기기에도 활용되고 있습니다.

- 광학기기용 할로겐램프 정보

  제논 플래시램프

[가시광～적외영역][연속파장]  

200nm～2000nm부근까지의 연속 스펙트럼을 가진 램프입니다. 순간적으로 대광량, 고광속을 얻을 수 있어 반복 발광이 가능합니다.

- 크세논 플래시램프 상세 정보  

- OA기기용 크세논 플래시램프 상세 정보  

- 반도체 프로세스용 플래시램프 어닐 상세 정보  

- 플래시UV 조사장치 상세 정보

  제논 쇼트 아크 램프

[가시광～적외영역][연속파장]

고휘도ㆍ점광원으로 가시영역ㆍ적외영역까지 한낮의 햇빛과 유사한 연속 스펙트럼을 가지고 있어 연색성이 뛰어난 광원입니다.

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  초고압UV램프

[365nm／405nm／436nm]  

적외선 파장 영역 중에서도 특히 i선（365nm）ㆍh선（405nm）ㆍg선(436nm)을 효율적

으로 방사해 안정된 방사 강도를 지닌 고휘도 광원입니다.

- 상세 정보

  고압UV램프

[250～320nm／365nm]  

자외선 영역 중에서 250～320nm 및 365nm에 강한 스펙트럼을 가진 선 광원입니다.

- 상세 정보

  Deep UV램프

[～400nm]  

수은과 희소 가스（크세논 가스）가 들어 있어 초고압 UV램프에 비해 320nm 미만의

단파장 영역의 방사량이 큰 점 광원입니다.

- 상세 정보

  저압UV램프

[185nm／254nm]  

자외선 영역 중에서 185nm 및 254nm에 강한 스펙트럼을 가진 선 광원입니다.

- 상세 정보

  엑시머 램프

[126nm／146nm／172nm／222nm／308nm]  

126, 146, 172, 222, 308nm의 단일 파장이 있으며 특히 180nm 이하의 VUV（진공 자외

선）를 효율적으로 방사합니다.

- 상세 정보

  희소가스 형광 램프

[가시광역]  

희소 가스의 채용으로 온도 의존성, 광량 안전성을 높인 고휘도 램프입니다.

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  KrF레이저

[248nm]  

248nm의 진공 자외선을 방사하는 KrF（플루오르화 크립톤）엑시머 레이저입니다.

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  ＡrF레이저

[193]  

193nm의 진공 자외선을 방사하는 ArF（ 플루오르화 아르곤） 엑시머 레이저입니다.

- 상세 정보

  EUV（극단 자외광）

[13.5nm]  

고온ㆍ고밀도 플라스마를 생성해 10-15 nm 파장 영역의 극단 자외광을 방사하는 리소

그래피용 광원입니다.

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