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정평있는 우시오
초고압UV램프
자외선 파장 영역
내에서도 특히 3선(365nm, 405nm, 436nm)을 유효하게 활용할 수 있어
긴 수명으로 안정된 조사 강도를 가진 고휘도 점광원, 우시오의 초고압UV램프를
탑재하고 있습니다.
업무에의 열
영향을 경감하는 콜드 미러
장파장 빛을 투과해
필요한 자외선만을 반사하는 콜드 미러를 2장 사용하고 있으므로 피조사물의
온도 상승을 억제합니다.
고성능 인티그레이터
렌즈 탑재
고성능 플라이
아이 렌즈를 탑재, 빛의 이용 효율을 절감시키지 않고 조사면을 균일하게
조사합니다.
목적에 따라
선택 가능한 시스템 구성
「기본구성유닛＋부속광학유닛＋셔터
컨트롤 유닛」의 기본 패턴에 더불어 조사 강도, 파장, 조사 지름 등,
다양한 빛 조건을 모두 실현하는 풍부하고 다양한 제품을 갖추고 있습니다.
무한대로 조합이 가능합니다.
파장 영역의
선택이 가능
II타입(365nm),
IG타입(365ㆍ405ㆍ436nm의 3선)의 2종류의 광학계에서 필요에 따라 선택할
수 있습니다.
요구에 맞는
광학설계ㆍ제작 가능
「250～25kW
램프하우스」「고조도화, 고평행도화, 파장 선택 등에 의한 광학 성능
업」「공간 절약 등 레이아웃에 대응한 광학계」「DeeP UV램프 등 초고압UV램프
이외를 광원으로 한 램프하우스」 등 고객들의 요구에 부응하고 있습니다.
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주요 용도
렌즈를
사용한 균일 조사광원이며 또한 광파이버를 사용한 스폿 광원으로서
회로 패턴 인화, 웨이퍼 전면 노광, UV접착 경화 등 다양한 용도에 활용
가능합니다.
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반도체/반도체 인화, 반도체 마스크 검사, 웨이퍼 주변 노광, 웨이퍼
전면 노광, 웨이퍼 흠집 검사, 액정 TFT/CF
인화 등
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정밀기기/CD광 픽업용 렌즈 접착, 자기 헤드 접착, 파이버 코팅, 전자부품접착,
수정발진 노광, TAB 노 광, FPC 노광,
대면적 투영 노광장치 등
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기타/액정 얼라이너, MEMS노광, 각종 광학 실험 등
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(PDF : 1.2MB)
