할로겐 히터

엑시머램프/엑시머광조   사유닛

다목적 균일 조사 유닛   멀티라이트/램프하우스

옵티컬 Modulex

광화학반응용 실험장치

할로겐램프의 적외영역의 빛을 효율적으로 추출하기 위해 개량된 제품이 바로 할로겐 히터입니다.  

할로겐 히터에 의한 가열은 유연성과 컨트롤성이 뛰어나 고효율ㆍ친환경ㆍ소형/경량 등, 다른 열원에는 없는 뛰어난 특징을 가지고 있습니다.  

다양한 용도에 알 맞는 다양한 라인업을 갖추고 있어 고객들의 요구에 부응한 최적의 타입을 제안하고 있습니다.

  * OA기기용 할로겐 히터는 여기

  카탈로그 보기(PDF : 4.5MB)

  기능ㆍ용도ㆍ대표적인 시료 (PDF：72.1KB）

  특징

- 고효율 에너지원

투입 전력의 85%이상을 적외선으로 전환, 방사하는 고효율 열원입니다. 램프식 방사 가열이므로 분위기에 좌우되지 않고 대상물만을 효율적으로 가열합니다.

- 전력밀도가 높아 1000℃ 이상의 급속한 온도조절이 가능

발열체는 색 온도 2500K의 텅스텐 필라멘트입니다.

-「빛」이므로 컨트롤 성능이 높다

렌즈나 거울로 집광ㆍ산광이나 열의「처리」가 자유자재로 가능한 간편한 시스템으로서 높은 효율의 가열을 실현하고 있습니다.

- 소형ㆍ친환경 열원

커다란 에너지양에도 불구하고 소형ㆍ경량으로서 좁은 장소에서도 설치가 가능합니다. 또한 비접촉 가열이 가능하므로 대상물이나 조사 환경을 오염시킬 염려가 없어 대기 상태ㆍ진공 상태 등 가열 분위기에 구애받지 않습니다.

- 신속한 기동ㆍ차단

열 용량이 작은 필라멘트가 열원이므로 스위치 ON/OFF와 거의 동시에 에너지의 기동과 차단이 가능해 복잡한 가열 프로그램에 대응하는 미세한 열 제어도도 가능합니다.

- 긴 수명으로 일정한 에너지 방사

할로겐 사이클 작용으로 5000시간의 긴 수명 설계. 더욱이 수명 말기까지 거의 일정한 에너지 방사를 유지합니다.

 전력을 일정하게 한 경우의 분광 분포

기동 성능（좌）／차단 성능（우）

 웨이퍼 온도 측정 결과

 전력유지율